【48812】芯联集成取得实用新型专利授权：“维护环及等离子体处理设备”

时间: 2024-04-18 09:58:34 |   作者; 雷火竞猜官网首页

  证券之星音讯，依据企查查多个方面数据显现芯联集成（688469）新取得一项实用新型专利授权，专利名为“维护环及等离子体处理设备”，专利申请号为CN2.6，授权日为2024年4月16日。

  专利摘要：本实用新型触及一种维护环及等离子体处理设备，等离子体处理设备包含处理腔室，设于处理腔室内且固定晶圆的吸盘，以及维护环，维护环的内径小于吸盘的直径，以使维护环的中空环状主体盘绕吸盘设置，维护环的内径小于晶圆的直径，以使中空环状主体在晶圆的底部维护吸盘，中空环状主体具有相对的上外表和下外表，上外表包含平面和坐落平面的外周侧且向下外表方向歪斜的斜面，维护环还包含多个定位凸台，多个定位凸台设于上外表上，并沿中空环状主体的周向距离设置，多个定位凸台用于在晶圆的旁边面限位晶圆。本实用新型可削减反响副产物在维护环和吸盘之间的堆积，从而进步设备正常运转功率，提高产品良率，并削减清洁频率，降低成本。

  今年以来芯联集成新取得专利授权21个，较去年同期增加了5%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研制方面投入了15.29亿元，同比增82.25%。

  以上内容由证券之星依据揭露信息收拾，由算法生成（网信算备240019号），与本站态度无关，如数据存在问题请联络咱们。本文为数据收拾，不对您构成任何出资主张，出资有危险，请慎重决议计划。